Мы используем cookie файлы, как и большинство сайтов в интернете. Гарантируем сохранность ваших персональных данных.
СЕКЦИЯ №8

Микросистемы. Сенсоры и актюаторы

30 сентября – 2 октября 2026 Университет «Сириус»
Руководитель секции
Тимошенков Сергей Петрович
Доктор технических наук, профессор,
директор Института НМСТ НИУ МИЭТ
Заместитель руководителя секции
Дюжев Николай Алексеевич
Кандидат физико-математических наук,
директор ЦПК «МСТ и ЭКБ» МИЭТ
Cекция №8 «Микросистемы. Сенсоры и актюаторы» охватывает вопросы, связанные с исследованиями, разработками и технологиями изготовления изделий микросистемной техники, микросборок и микроэлектронных модулей уровня «система в корпусе».

Основные тематики работы секции:

— разработка и технологии производства инерциальных МЭМС и ЭМ (акселерометры, гироскопы, инклинометры, БИНС);
— разработка и технологии производства ВЧ МЭМС и актюаторов (ВЧ и СВЧ переключатели, генераторы, микроактюаторы);
— разработка и технологии создания оптических МЭМС и микрофотоники (оптические переключатели, микрозеркала, микроболометры, модуляторы, кольцевые резонаторы);
— разработка и технологии производства акустических микросистем (акустические фильтры, микрофоны);
— разработка и технологии производства преобразователей магнитного поля и магнитометрических микросистем на их основе;
— разработка и технологии производства МЭМС для мониторинга состояния окружающей среды и биохимического анализа (датчики давления, датчики газа, датчики влажности микрофлюидные датчики);
— технологии проектирования и производства микросборок, многокристальных модулей и электронных модулей уровня «система в корпусе» (2,5D и 3D интеграция, встроенный монтаж бескорпусных микросхем и пассивных компонентов, TSV, интерпозеры, корпусирование кристаллов на уровне пластин).
Повышайте квалификацию на Российском форуме «Микроэлектроника»: дополнительное развитие с пользой и перспективами!

Всем зарегистрированным участникам Российского форума «Микроэлектроника» предлагается по желанию пройти расширенную программу повышения квалификации (дополнительного профессионального образования – ПК ДПО) и получить новый образовательный опыт.

Подробнее о программе повышения квалификации на базе НИУ МИЭТ →

Если вы участник Секции №8 в вашем Личном кабинете участника имеется возможность зарегистрироваться на обучение, выбрав программу от одного из ведущих организаций-поставщиков образовательных услуг НИУ МИЭТ.

Для прохождения программы повышения квалификации «Основные направления развития отечественной электронной компонентной базы и средств её проектирования и производства» необходимо посещение Предконференции №2 и одной из секций на выбор – Секции №3, №4, №8, №11 научной конференции «ЭКБ и микроэлектронные модули» форума «Микроэлектроника».

Программа разработана в Передовой инженерной школе «Средства проектирования и производства электронной компонентной базы».

Форма обучения: очно-заочная.

Докладчики Форума получат преимущества при прохождении итоговой аттестации.
Программа Секции №8
В программе возможны изменения
30 сентября 2026
09:00-09:20
Разработка и развитие многофункциональных МЭМС
д.т.н. Тимошенков Сергей Петрович, НИУ «МИЭТ»
09:20-09:40
Исследование и разработка технологии инкапсуляции МЭМС элементов в слоях кремниевой пластины
к.т.н. Коломийцев Алексей Сергеевич, Южный федеральный университет
09:40-10:00
Технологические аспекты формирования герметизируемого объёма для применения в МЭМС
Юркин Никита Олегович, OOO «МАППЕР»
10:00-10:20
Калориметрические сенсоры для использования в тяжёлых условиях эксплуатации
к.т.н. Самотаев Николай Николаевич, НИЯУ МИФИ
10:20-10:40
Вывод контактов через стекло (TGV) в инерциальных МЭМС
к.т.н. Фёдоров Максим Вячеславович, АО «ГИРООПТИКА»
10:40-11:00
Корпусирование МЭМС-кристаллов на основе анодированных алюминиевых подложек
к.т.н. Соловьёв Александр Анатольевич, РТУ МИРЭА
11:00-11:30
КОФЕ-БРЕЙК
11:30-11:50
Современный уровень и перспективы развития датчиков индукции магнитного поля АО «ЗНТЦ» на основе анизотропных магниторезистивных преобразователей
к.т.н. Полевиков Валерий Викторович, АО «ЗНТЦ»
11:50-12:10
Бесконтактные датчики тока ЗНТЦ
Бычков Алексей Анатольевич, АО «ЗНТЦ»
12:10-12:30
Разработка метода герметизации отверстий поликристаллическим кремнием при инкапсуляции МЭМС-структур
к.т.н. Петрова Софья Владимировна, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения ЮФУ
12:30-12:50
Влияние размера рабочей камеры на перемещение и развиваемую силу взрывного актюатора
Шлепаков Павел Сергеевич, НИЦ «Курчатовский институт»
13:00-15:00
ОБЕД
1 октября 2026
09:00-09:20
Исследование преломляющей оптики в рентгеновской литографии
к.ф.-м.н. Дюжев Николай Алексеевич, АО «РЕТИКЛ»
09:20-09:40
Исследование процессов формирования жертвенного слоя оксида кремния в технологии тонкоплёночной инкапсуляции МЭМС
Житяева Юлия Юрьевна, Южный федеральный университет
09:40-10:00
Детекторы ионизирующего излучения и ядерная электроника для обработки сигналов
Решетова Надежда Сергеевна, ООО «СофтЭксперт»
10:00-10:20
Микромеханический СВЧ-переключатель с несколькими подвижными электродами
д.т.н. Уваров Илья Владимирович, НИЦ «Курчатовский институт», ЯрГУ им. П. Г. Демидова
10:20-10:40
Разработка гидроакустического модуля на основе электрохимического преобразователя
к.ф.-м.н. Криштоп Владимир Григорьевич, АО «ИнфоТеКС»
10:40-11:00
Установка УМКА для автоматического монтажа полупроводниковых кристаллов и её применение при производстве МЭМС
Лисов Владимир Станиславович, Совтест АТЕ
11:00-11:30
КОФЕ-БРЕЙК
11:30-11:50
Квантовая магнитометрия на основе датчиков из монокристаллических алмазных пластин с NV-центрами
д.ф.-м.н. Есеев Марат Каналбекович, Северный Арктический федеральный университет
11:50-12:10
Исследование устойчивости диэлектрической мембраны МЭМС-преобразователя состава газа с использованием измерительных и расчётных методов
Николаева Анастасия Владимировна, НПК «Технологический центр»
12:10-12:30
Двухпараметрический кремниевый сенсор фазового перехода жидкость-лёд и её температуры
к.ф.-м.н. Воронова Наталья Владимировна, АО «НИИМЭ»
12:30-12:50
Магниторезистивный датчик с перпендикулярной чувствительностью
Грушевский Егор Алексеевич, НИЦ «Курчатовский институт»
13:00-15:00
ОБЕД
2 октября 2026
09:00-09:20
ОНЛАЙН
Разработка микроэлектронного сенсора давления с использованием технологии тонкоплёночных термопар
к.ф.-м.н. Чиненков Максим Юрьевич, НИУ МИЭТ
09:20-09:40
Способ пассивной температурной компенсации смещения нуля сенсора давления (варианты)
Прокофьев Сергей Михайлович, АО «Орбита»
09:40-10:00
ОНЛАЙН
Проектирование и системное моделирование МЭМС-гироскопа с частотным выходом на основе методов синтеза моделей пониженного порядка
к.ф.-м.н. Лукин Алексей Вячеславович, Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
10:00-10:20
Подавление низкочастотных шумов считывания пьезорезистивных полимерных композитов: роль межфазной поляризации Максвелла – Вагнера – Силларса
Братьков Станислав Дмитриевич, РТУ МИРЭА
10:20-10:40
Перколяция и туннельный пьезорезистивный отклик полимерного композита с проводящим наполнителем
Нетреба Анастасия Юрьевна, РТУ МИРЭА
10:40-11:00
11:00-11:30
КОФЕ-БРЕЙК
11:30-11:50
11:50-12:10
12:10-12:30
12:30-12:50
12:50-13:00
13:00-15:00
ОБЕД
Сессия стендовых докладов
1
Испытания экспериментального образца гидроакустического модуля
к.ф.н. Горина Елена Владимировна, МФТИ
2
Разработка алгоритмов гидроакустического модуля
Дудкин Павел Валентинович, МФТИ
3
Низкочастотный электрохимический сейсмодатчик с углеродными электродами
к.ф.-м.н. Зайцев Дмитрий Леонидович, МФТИ
4
Аналоговый вибрационный МЭМС гироскоп, функционирующий на основе эффекта инерции стоячих волн в кольцевом резонаторе
к.т.н. Баранов Александр Александрович, ФГУП «ЦНИИХМ»
5
Особенности конструкции и технологии изготовления микромеханического датчика ударного воздействия
к.т.н. Суздальцев Сергей Юрьевич, ФГУП «ЦНИИХМ»
6
Снижение эрозии микромеханических элементов при их формировании методом глубокого анизотропного реактивного ионного травления в рабочем слое структуры «кремний над полостью»
к.т.н. Обижаев Денис Юрьевич, ФГУП «ЦНИИХМ»
7
Коррекция неортогональности измерительных осей трёхосевого цифрового микромеханического акселерометра
к.т.н. Жукова Светлана Александровна, ФГУП «ЦНИИХМ»